Print page PDF export MS-Word export
Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju
Centar za mikroelektronske tehnologije (Centar izuzetnih vrednosti MPNTR)
Naučna oblast (Frascati Manual)
Condensed matter physics (including formerly solid state physics, superconductivity)
Electrical and electronic engineering
Chemical process engineering
Nano-processes [applications on nano-scale]
Kratak opis ekspertize
Centar za mikroelektronske tehnologije jedini u Srbiji i na Zapadnom Balkanu eksperimentalno istražuje, projektuje i proizvodi mikročipove, za šta koristi planarne tehnologije i mikromašinstvo (MEMS) odnosno mikrosistemske tehnologije. Ovi čipovi najvećim delom su namenjeni izradi senzora, detektora i mernih transmitera za upotrebu u privredi
Ključne reči
mikroelektronske tehnologije, mikrosistemi, nanosistemi, senzori, detektori, transmiteri
Realizovani i aktuelni projekti
Naziv projektaBroj projektaIzvor finansiranjaPeriod trajanja projekta
Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine TR-32008Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj Republike Srbije2011-2015
Inteligentni industrijski transmiteri na bazi sopstvenih IHTM senzora TR-11025Ministarstvo za nauku i tehnološki razvoj Republike Srbije2008-2010
Mikrosistemske, nanosistemske tehnologije i komponente TR-11027Ministarstvo za nauku i tehnološki razvoj Republike Srbije2008-2010
Industrijski merači procesnih veličina sa radio-komunikacijom IP06-8245BMinistarstvo nauke i zaštite životne sredine Republike Srbije2006
Detektor mulja i zamućenosti tečnosti sa kontrolerom IP06-8139BMinistarstvo nauke i zaštite životne sredine Republike Srbije2006
Mikro i nanosistemske tehnologije, strukture i senzori TR-6151BMinistarstvo nauke i zaštite životne sredine Republike Srbije2005-2007
Visokokvalitetni transmiteri pritiska nove generacije TR-6101BMinistarstvo nauke i zaštite životne sredine Republike Srbije2005-2007
Naziv projektaBroj projektaIzvor finansiranjaPeriod trajanja projekta
MAG-DRIVE New Permanent Magnets for Electric-Vehicle Drive Applications Grant agreement no. 605348 European Community through the Seventh Framework Programme 2013-2016
cellFOS - Label-Free Detection of Cancer Cells by Fiber-Optic Sensing Technique Based on Low-Coherence Interferometry AN583Austrijska agencija za promociju nauke FFG2015'2016
PCA DemonstratorAN433Austrijska agencija za promociju nauke FFG2013-2014
Reinforcement of Regional Microsystems and Nanosystems Centre (REGMINA) Grant agreement no. 205533 European Community through the Seventh Framework Programme 2008-2011
Micro-nano cantilever based detection of small electromagnetic forces IB7320-110923 Swiss National Science Foundation 2005-2008
Primenjivi rezultati istraživanja
NazivOsnоvnе kаrаktеristikе Korisnik
Minijaturni Piezootporni Senzor Pritiska SP12opseg pritisaka 0-200 bar - opseg radnih temperatura: od -20 do 120 0C - nelinearnost ispod 0.2% opsega pune skale - visok izlazni napon (~700 mV) za pun merni opseg - visoka osetljivostElektroprivreda Srbije, Železnice Srbije
Visokotemperaturni SOI SP-9 piezootporni senzor pritiskaSenzor pritiska za opseg pritiska 0-100 bar i opseg radnih temperatura od 20 0C do 300 0C, nelinearnost od 0.2% do 0.6%, nekompenzovana osetljivost 1.7 mV/bar, postoji mogucnost temperaturne kompenzacije osetljivostiProcesna industrija, Elektroprivreda Srbije
Transmiter za niske pritiske (relativne)Tehnicke karakteristike: Opseg relativnog pritiska manji od 50 mbar, nelinearnost manja od 0.2 %, precnik metalne membrane: 36 mm Tehnicke mogucnosti: Merenje pritiska gasova i tecnosti, procesni prikljucak 1/2'' i preko prirubnice sa O-ringom.Elektroprivreda Srbije
Inteligentni transmiter pritiska sa HART protokolomTehničke karakteristike: Transdjuser pritiska sa silicijumskim piezootpornim senzorom, Dvožična veza sa merno-regulacionim sistemom, Napon napajanja od 12 do 40 V, Analogni strujni izlaz 4 do 20 mA, Lokalno pokazivanje izmerene vrednosti i korisnički interfejs za podešavanje, Dvosmerna digitalna komunikacija posredstvom HART protokola, Merna nesigurnost < 0.1% pune skale 
Inteligentni transmiter diferencije temperatureTehnicke karakteristike: Koriscenje inteligentne elektronike omogucuje merenje sa mernom nesigurnoscu ispod 0,10C. Brzina odziva zavisi od koriscenih sondi i nije uslovljena elektronskim sklopom (za sonde sa provodnicima u cevi od Ø6mm od INCONEL-a i duzine 400mm iznosi 15 sec.). Tehnicke mogucnosti: Moze se meriti razlika temperature i/ili sama temperatura u intervalu -100 0C ÷ +400 0C. Podaci se citaju sa displeja ili preko dvozicne veze preko HART protokola u jedinicama temperature ili preko struje 4-20mA. Moguca su merenja: diferencije temperature, temperature obe sonde, srednja vrednost izmedju te dve temperature, redudancija. EPS, SME
Inteligentni transmiter nivoa sa dva apsolutna senzoraTehničke karakteristike: Koriscena elektronika i razvijeni softver omogucuje merenje sa greskom manjom od 0,1% po pritisku i manjom od 0,2% za opseg temperatura -200C ÷+800C. Opseg merenja zavisi od koriscenog senzora i iznosi 0÷0,5m do 0÷100m. Tehničke mogucnosti: Nivo se ocitava na displeju ili dvozicno preko HART protokola ili 4-20mA strujni izlaz direktno. Moguce je i merenje atmosferskog pritiska. Podesavanje se vrsi ili preko tastera ili daljinski preko HART komunikatora.EPS, Vodovod Smederevo, SME
NazivOsnоvnе kаrаktеristikе Korisnik
Formiranje MEMS struktura sa vise nivoa uz pomoc maskless nagrizanjaMaskless nagrizanje je novi tehnoloski postupak trodimenzionalnog anizotropnog nagrizanja silicijuma da bi se dobile strukture sa vise nivoa razlicitih visina. Osnova maskless tehnologije su dve oksidacije koje formiraju okside znatno razlicitih debljina i dva fotopostupka. IHTM-CMT za dalja istraživanja
Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/AuVlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka. Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u vodenom rastvoru HFIHTM-CMT za dalja istraživanja
Mikrogredice od zlata za detekciju i merenje malih koncentracija zive u gasovitoj srediniResenje zasnovano na koriscenju mikrogredica omogucuje razvoj prenosivih i jeftinih uredjaja za visokoosetljivu detekciju zive na terenu. Princip rada senzora zive sa gredicom koji se koristi u dinamickom rezimu zasniva se na promeni rezonantne ucestanosti gredice usled adsorpcije. Merenjem rezonantne ucestanosti pre i nakon adsorpcije zive, moze da se odredi adsorbovana masa na gredici, a zatim i koncentracija zive u okruzenju. Izvrsili smo projektovanje, realizaciju (na nivou prototipa) i eksperimantalnu karakterizaciju zlatnih mikrogredica za detekciju zive. Za eksperimentalnu karakterizaciju koriscen je AFM u statickom i dinamickom rezimu rada.IHTM-CMT za dalja istraživanja
Metal-dielektrični korugovani višeslojni UV filter-propusnik opsega sa rezonansom površinskih plazmona-polaritonaMogućnost podešavanja položaja propusnog opsega u okviru optičkog spektra, osnovna verzija urađena za maksimum transmisije 320 nm, odseca vidljivi i infracrveni deo spektra s potiskivanjem neželjenih talasnih dužina većim od 5 redova veličine, moguće podešavanje apsolutnog iznosa potiskivanja neželjenih talasnih dužina Materijal srebro/silicijum dioksid, ukupna debljina višeslojnog filtra ispod 1 mIHTM-CMT za dalja istraživanja
Postupak dvostrane fotolitografije za izradu MEMS-NEMS struktura: Postupak može da se primenjuje za poravnavanje fotolitografskih maski na dvostrano poliranim Si pločicama, kao i za poravnavanje pločica za pripremu za direktno bondovanja Si-Si ili staklo-Si. Pri tome neke maske mogu da se koriste kao univerzalne maske za izradu bilo kog tipa MEMS-NEMS strukturaIHTM-CMT, za dalja istraživanja i razvoj komercijalnih senzora
Grana primene (prema Uredbi o klasifikaciji delatnosti, Službeni glasnik RS, br. 54/10)
Proizvodnja, prenos i distribucija električne energije
Istraživanje i eksperimentalni razvoj u prirodnim i tehničko-tehnološkim naukama
Spisak osoblja u okviru jedinice
ImePrezimeNastavno / Naučno zvanje
DanaVasiljević-Radovićnaučni savetnik
Zoran Jakšićnaučni savetnik
VesnaJovićnaučni savetnik
KatarinaRadulovićnaučni savetnik
DanijelaRanđelovićnaučni savetnik
Predrag Krstajićviši naučni saradnik
Jelena Lamovecnaučni saradnik
Dušan Nešićnaučni saradnik
OlgaJakšićnaučni saradnik
FilipRadovanovićnaučni saradnik
MilčeSmiljanićnaučni saradnik
MilijaSarajlićnaučni saradnik
PredragPoljaknaučni saradnik
MilošFrantlovićistraživač saradnik
Ivana Jokićistraživač saradnik
MilošVorkapićistraživač saradnik
BrankoVukelićistraživač saradnik
MarkoObradovistraživač saradnik
Milena Rašljićistraživač saradnik
IvanaMladenovićistraživač saradnik
KatarinaCvetanovićistraživač pripravnik
ŽarkoLazićstručni savetnik
DraganTanaskovićstručni savetnik
BogdanPopovićstručni savetnik

Captcha img Kliknite ovde za drugu sliku